正式的光刻机组装比起从显微镜魔改难度自然不一样。


    主要难点并非说是最后的组装，更多的在于自主零件的适配与工艺的达标。


    工业基础条件落后，所带来的工业品差距是体现在方方面面的。


    特种零件强度标准，公差标准等等，其实一上手就能感觉到跟英方的显微镜设备中的零件有差距。


    好在沈永健这般镜头配件的组装下来，倒是还算顺利。


    第一代接触式光刻机，他设计之初也考虑到了材料生产的难题，尽可能减少精密零件的需求。


    “对的…好…没问题！”


    “水平，垂直，基准面…都对上了！”


    卓邵文在一旁替他把着精确度的标准，声音中带着一丝不易察觉的激动。


    “邵文，帮我递一下光学镜头组和那个苏制的投影透镜也拿一下。”


    沈永健指向自己旁边几个用绒布小心包裹的部件，不由地再次嘱咐道。


    “小心，镜面绝不能沾灰或指纹。”


    卓邵文依言，动作极其轻柔地拆开包装，配合着沈永健的动作，小心翼翼地将镜头与组件配装到一起。


    这台正式的第一代光刻机，核心零配件皆来源自产，不过部分零件依旧选用从苏方进口的，例如那投影透镜。


    国内倒不是没有能制造的工厂和实验室，只是效能上还是苏方的生产配件更佳。


    反正眼下双方关系不错，这类相关的零配件，对方也挺大方，自然是先用更好的零件。


    约莫四个小时后，天色渐暗。


    厂里除了收制车间有夜班工人外，大都已经下班，外头也再无任何杂音，显得有些寂寥。


    好在大家心头都是火热，沈永健这边工作已进入尾声。


    “沈工，操作台，光源系统和遮光板都装好了，您看看位置？”


    见沈永健动作终于停下，刘师傅的声音便已从身后响起。


    他负责的是工作量最大且要求严苛的机械部分。


    笨重的高压汞灯光源，复杂的冷却管路以及控制光路的精密遮光板机构。


    沈永健起身前去，身前这个“大家伙”已然有了光刻机的雏形。


    随着他将电镜模组与各光学镜头模组安装完毕，观察投射在模拟硅片上的光斑形状和均匀度，再反复调整遮光板和聚光镜的位置。


    “…再左移一点…好，停！就是这个位置，固定死！”


    在他果断下令后，刘师傅立刻用特制的工具将螺栓牢牢锁紧。


    这台崭新的56型接触式光刻机终于正式装配完成。


    它占地面积极大，比起原先的土光刻机都要大上一圈。


    原因也简单，毕竟原先的土光刻机并不承担那些大照相机等后续的工作。


    而如今完整的光刻，除了最后封装外皆会在这台机子上完成。


    几人眼下还来不及高兴，曹文三与曲嵩二人正将预先涂布好光刻胶的硅片交由沈永健装入工件台上。


    首件光刻的测试，才是决定这台光刻机能否投入工作，是不是正式制成的关键。


    沈永健深吸了口气，尽可能地平复心绪，透过镜头将硅片的复杂电路与掩膜版精确对准。


    而卓邵文负责操作精密的真空吸附装置固定硅片和掩膜版。


    “x轴偏差0.05微米，y轴…0.03微米…旋转偏差…修正完毕！”


    初步手动校准后，完成最后一道电镜的自动校准，沈永健从操作台退后一步。


    “对准完成！准备曝光！”


    其余几人同样跟着后退，撤出设备的核心区域，目光跟随着沈永健按下了启动按钮。


    嗡——


    高压汞灯瞬间点亮，炽白的光线经过复杂的光学系统，穿透掩模版，精准地投射在涂有光刻胶的硅片上。


    设备内部传来冷却液循环的水流声和精密机械运转的细微蜂鸣。


    预设的曝光时间在紧张而寂静的空气中一秒一秒地流逝。


    所有人脸上都不免闪过紧张与期待。


    饶是沈永健也一样，他对理论图纸有信心，但最终组装成的设备也没法一次保证能成，万一有个别零件不合格等，都会影响这台精密机器的运转。


    “叮！”


    终于！


    计时器清脆的提示音打破了沉寂，曝光结束。


    沈永健立刻上前，小心翼翼地取下硅片。


    卓邵文迅速准备好显影液槽，当硅片浸入显影液，经过短暂的化学反应和冲洗后，被放在高倍显微镜下。


    沈永健第一个凑近目镜，显微镜视野中，清晰地呈现出一组极其微小的，边缘锐利的线条图案。


    正是掩模版上设计的晶体管电路图形！


    运气不错！


    哪怕是这个不太稳定成功率不高的光刻胶，这次竟也一次便成，将图案精确地转移到了硅片上！


    “成了！”


    卓邵文紧接着凑上前朝目镜观察，也是第一个在这半夜的研制车间喊出声。


    声音因激动而有些沙哑，疲惫的脸上瞬间被巨大的喜悦和难以置信的光芒点亮。


    曹文三与曲嵩二人同样兴奋的上前确认。


    最后就连刘师傅都在几人兴奋的起哄下，凑近目镜看了眼他完全看不懂的图案，嘴上也跟着激动确认道。


    “好啊！这是真整成了吧！？”


    …


    “是成了！”


    沈永健言语中也透着股轻松，56型接触式光刻机，可以说是国内第一台真正的光刻机。


    有了第一台的成功，后续的再产便没了压力。


    厂里的晶体管车间也具备了真正投入生产的能力！


    “小曹，曲嵩，你们俩今晚再加个班吧？”


    “测试这台机器的生产效率，还有目前的成功率。”


    “明早，我跟邵文同志过来接替你们。”


    …


    “没问题！”


    “沈工，你们先回去休息吧，今晚我们俩轮值，数据不会遗漏的。”


    这台新机器的测试一连进行了三日。


    厂里正为分房名单的讨论，包括新一轮招工的事，忙得不可开交。


    却没有一位同志，乃至厂领导敢来研制车间寻沈永健几人。


    新的正式光刻机性能也一如沈永健的预期，制造的成品成功率在39%，比土光刻机高了9%。


    而产量效率上，更是另一层级的提升。


    估算24小时不间断，应当是220片晶圆每天的产量。


    比照晶体管一车间12台光刻机的预定产能，这个产量足以覆盖军区电台、对讲机的使用需求。


    其余各单位的研究也能够敞开了供应，原本的晶体管收音机乃至他预想的晶体管电视机也有了小规模专供外汇生产的条件。